Piezorezistiv akselerometr

Piezorezistiv akselerometrning yadrosi piezorezistiv effektdir. U kremniy kabi yarimo'tkazgich materiallardan tayyorlangan mikro-mashinali konsol nuridan yoki isbotlangan massadan foydalanadi. Akselerometr tezlanishni boshdan kechirganda, inertial kuch isbotlangan massani deformatsiyaga olib keladi. Ushbu deformatsiya nurga biriktirilgan piezorezistiv materialni cho'zadi yoki siqadi, bu uning elektr qarshiligining o'zgarishiga olib keladi. Qarshilikning bu o'zgarishini o'lchash orqali (odatda Wheatstone ko'prigi sxemasi yordamida) tezlashuvning kattaligini aniq hisoblash mumkin.

Noyob ishlash printsipi tufayli piezorezistiv akselerometrlar yuqori sezuvchanlik, keng o'lchov diapazoni, mustahkam tuzilish va yuqori{0}}chastota javobini taklif etadi. Biroq, ular odatda yuqori quvvat sarfiga ega va haroratga sezgir (harorat kompensatsiyasini talab qiladi).

Ushbu xususiyatlardan kelib chiqqan holda, ularning ilovalari birinchi navbatda yuqori{0}}chastotali, yuqori{1}}ta'sirli (yuqori-g), dinamik hodisalarni o'lchashni talab qiluvchi sohalarga qaratilgan.