Seramika sig'imli mutlaq bosim sensori

Keramika sig'imli mutlaq bosim sensori - bu alyuminiy oksidi keramikadan asosiy material sifatida foydalanadigan va sig'imdagi o'zgarishlarni aniqlash orqali mutlaq vakuum mos yozuvlar nuqtasiga nisbatan bosimni o'lchaydigan sensorning bir turi.

 

Oddiy qilib aytganda, bu bosimni to'g'ridan-to'g'ri sig'imning o'zgarishiga aylantiradigan "o'zgaruvchan kondansatör" bo'lib, uning mos yozuvlar bo'shlig'i vakuum ostida germetik tarzda muhrlanadi.

Uning asosiy komponenti seramika sig'imli sensor yadrosi bo'lib, odatda ko'p qatlamli-qatlamli pishirish texnologiyasidan foydalangan holda ishlab chiqariladi:

Tuzilishi:U qattiq elektrodli keramik substratdan va shisha frit yordamida yuqori haroratlarda bir-biriga bog'langan harakatlanuvchi elektrod vazifasini bajaradigan nozik keramik plyonkadan (diafragma) iborat.

Bog'lanishdan so'ng ular orasida juda kichik, germetik yopiq vakuum mos yozuvlar bo'shlig'i hosil bo'ladi. Bu mutlaq bosim o'lchoviga erishishning kalitidir.

Bu struktura parallel{0}}plitalar kondansatorini hosil qiladi:

• 1-plastinka: Ruxsat etilgan pastki elektrod (keramika tagida bosilgan).
• 2-plastinka: harakatlanuvchi yuqori elektrod (keramika diafragmaning o'zi, odatda metalllashtirilgan).
• Dielektrik: vakuum (mos yozuvlar bo'shlig'i ichida) va keramika.

• Dastlabki holat:Mutlaq vakuum ostida keramik diafragma deformatsiyalanmagan va sig'im qiymati C₀ boshlang'ich qiymatidir.
• Amaldagi bosim:Tashqi bosim (mutlaq bosim) keramik diafragmaning tashqi tomoniga ta'sir qilganda, diafragma vakuum mos yozuvlar bo'shlig'iga qarab engil egilish deformatsiyasiga uchraydi.
• Imkoniyatlar o'zgarishi:Ushbu deformatsiya ikkita kondansatör plitalari orasidagi masofani pasayishiga olib keladi.
  Parallel{0}}Plitalar kondansatkich formulasi C=eA/d (bu erda e - o'tkazuvchanlik va A - nisbiy plastinka maydoni) bo'yicha, masofaning kamayishi S sig'im qiymatining oshishiga olib keladi.

• Signalni o'lchash:Keyingi ajratilgan sxema (odatda ASIC - ilovasi-maxsus integral sxemasi) sig‘imdagi bu daqiqali o‘zgarishlarni aniqlaydi, uni o‘zgartiradi, kuchaytiradi va chiziqli qiladi va nihoyat mutlaq bosimga mutanosib standartlashtirilgan signalni (kuchlanish yoki raqamli signal) chiqaradi.

Issiq teglar: seramika sig'imli mutlaq bosim sensori, Xitoyning seramika sig'imli mutlaq bosim sensori etkazib beruvchilari