Seramika bosim sensori
Seramika bosim datchiklari alumina keramikadan asosiy bosim-sezuvchi elastik element sifatida ishlatadigan sensorlarga ishora qiladi. Ular asosan qalin{2}}plyonka bosib chiqarish va yuqori{3}}temperaturali-yonish jarayonlaridan bevosita keramik diafragma orqasida piezorezistiv Wheatstone ko'prigini hosil qilish uchun foydalanadilar. Seramika diafragma bosim tufayli minimal deformatsiyaga uchraganida, u qarshilikning o'zgarishiga olib keladi va shu bilan elektr signalini chiqaradi.
Ishlash printsipi
Asosiy printsip piezorezistiv effektdir, ammo amalga oshirish diffuz kremniydan farq qiladi:
Asosiy material:Yuqori{0}}tozalik, yuqori elastik alumina keramik substratlardan foydalanadi.
Ishlab chiqarish jarayoni:
Keramika substratining orqa tomonida qalin plyonkali bosib chiqarish texnologiyasidan foydalangan holda Wheatstone ko'prigi naqshida maxsus rezistorli pasta (ko'pincha qimmatbaho metallar mavjud) bosiladi.
Keyin bosilgan substrat yuqori haroratlarda (odatda 1000 darajadan yuqori) sinterlanadi, rezistor pastasini keramik taglik bilan bitta birlikka mahkam bog'laydi.
Operatsion jarayoni:
Bosim keramik diafragmaning old tomoniga ta'sir qiladi.
Seramika diafragma juda engil egilish deformatsiyasiga uchraydi.
Bu deformatsiya orqa tarafdagi qalin{0}}plenka rezistorlariga uzatiladi va bu ularning qarshilik qiymatlarining o'zgarishiga olib keladi.
Wheatstone ko'prigiga ulangan to'rtta rezistorning qarshiligining o'zgarishi bosimga mutanosib ravishda kuchlanish chiqish signaliga aylanadi.
Issiq teglar: seramika bosim sensori, Xitoyning seramika bosim sensori etkazib beruvchilari
